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无菌净化洁净室对温度和湿度有哪些要求

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无菌净化洁净室对温度和湿度有哪些要求

发布日期:2017-10-25 00:00 来源:http://www.am-sun.com 点击:

   大连无菌净化洁净室的温湿度主要是根据您的加工工艺要求来确定,在满足加工工艺的条件下,首选应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高,工艺对温湿度的要求也越来越高,必须达到一定的温湿度等级。


    例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。


    湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。净化工程要控制温湿度具体有什么措施?


    为使生产环境或其他用途的洁净室室内空气环境控制在所要求的洁净度范围内,就需要送入足够量的经过处理的清洁空气,以替换或冲淡室内在正常工作时所产生的污染物质对空气的污染。根据房间不同的洁净度要求,用不同方式送入经过不通处理的、数量不等的清洁空气,同时排走相应量的携带有室内所产生的污染物质的脏空气,靠这样一种动态平衡,使室内空气维持在要求的洁净度水平。


    空气洁净度为十万级的洁净车间。空气洁净度是指洁净环境中空气含悬浮粒子量的多少的程度,青岛净化工程通常空气中含尘浓度高则空气洁净度低,含尘浓度低则空气洁净度高。就是以每立方米空气中的最大允许粒子数来确定其空气洁净度等级。


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